广州实验室气体管道工程的施工要求

　　广州实验室气体管道工程施工要求

　　1、管道敷设应符合设计要求，设计无要求时，输送干燥气体的管道宜水平安装;输送潮湿气体的管道应安装成有不小于0.003的坡度，坡度应坡向冷凝水收集器;

　　2、管道的连接采用焊接，并采用钨极氩弧焊打底，手工电弧焊盖面工艺。不锈钢管焊接或点固焊均应采取管内充氩保护措施;

　　3、气体管道与设备、阀门及其他附件应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须采用聚四氟乙烯薄膜;

　　4、通过洁净室的气体管道，其法兰垫片或螺纹填料的外露部分，必须清理干净;

　　5、气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化的无缝钢管时必须采用集中安装方式，并在48h内分段组合安装，充入压力不小于0.2MPa的氮气保护;

　　6、有接地要求的气体管道，法兰间必须焊有导电跨线，其导线截面及焊接搭接长度应符合设计要求，焊点必须牢固、可靠。

　　广州实验室气体管道工程的气路系统组成

　　主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易燃易爆气体，如氢气、乙炔等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入气体回火防止器等安全控制装置。随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛，象半导体、电子、医药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道，因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。

　　广州实验室气体管道工程气路的设计要点

　　1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

　　2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。

　　3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

　　4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

　　5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

　　6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

　　7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10-9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器