实验室高纯气体管道的安装流程

　　实验室高纯气体管道的安装流程，实验室对高纯气体有严格的要求，所以在实验室安装和施工高纯气体管道时应注意哪些问题?今天，边肖将向您简要介绍:

　　实验室高纯气体管道的气体管道指氢气、氧气、氮气、压缩空气、气体等一般气体。气压小于或等于0.8mpa的高纯度气体管道和真空管道。具体安装要求见《洁净室施工及验收规范》(jgj 71-1990)的相关规定。高纯气体是指纯度为99.9995%以上，含水量小于5×10-4%的气体。

　　实验室高纯气体管道广泛用于生产电子、生物医学、精细化工、精密机械、食品、化妆品等产品。在不同产品的生产过程中，所用高纯气体的种类和纯度，以及气体中允许的杂质浓度或气体的质量要求有很大的不同。例如，在半导体工业中，使用多种气体，要求特别严格。

　　高纯度、高清洁度气体管道的建设不同于普通工业管道。任何疏忽都可能损害气体质量。因此，必须认识到安装燃气质量的重要意义，严格遵守设计和施工要求，认真细致地工作，重视每一个小环节，建立符合要求的管道系统。需要以下方面:

　　1、实验室高纯气体管道外观检查

　　(1)管道系统的管道、阀门和所有附件应严格按照设计要求选择，不得随意更换。

　　(2)所有管道应小心存放在室内，不得堆放在露天，暴露于阳光和雨水中。

　　(3)管段的端部应使用塑料或橡胶密封盖密封，不得脱落或断裂。

　　(4)在使用管道、配件和阀门之前，应详细进行以下目视检查:

　　1)无裂纹、缩孔、折叠和双层皮等缺陷。

　　2)无锈蚀、麻点等。

　　3)管道平直光滑，无局部凹陷、擦伤、挤压等缺陷。

　　4)管道内表面的“粗糙度”是否符合设计要求，螺纹处的密封和保护是否完好。

　　5)采购的成品“内表面超光滑洁净管”应有出厂合格证、相关等级证书和资质证书。显微镜检查应随机取样，必须符合设计要求。

　　6)检查成品的外包装是否为“带内表面的超光滑洁净管”，以及盖、塞等密封措施。相应管道的末端满足要求。

　　7)法兰密封面应平整光滑，无毛刺和径向凹槽，凹凸法兰应能自然贴合，凸面高度不得低于凹槽深度。

　　8)橡胶和塑料等非金属垫片应质地柔软，无老化和分层，无表面损伤、皱纹和其他现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度和厚度应符合要求，表面不得有裂纹、毛刺、沟槽、径向划痕和锈斑等缺陷。

　　2、实验室高纯气路安装管道准备

　　(1)无论管道的压力、介质和用途如何，下料时不得使用氧气和乙炔火焰切割。无论是机械下料还是手动下料，不得在型材上涂抹油脂或润滑剂。

　　(2)管道切割应严格垂直于管道轴线，切割面应平整，无裂纹和毛刺。

　　(3)安装前应清洁各种阀门。清洁前，应对其进行打磨并通过压力测试。然后将其拆成零件，浸泡在三氯乙烯或四氯化碳溶剂中1 ~ 1.5h，清洗后应重新测试安全阀。

　　(4)组装时，不能拆卸成波纹管等零件的阀门应进行清洁。清洗效果可通过以下方法检查:从阀门进口注入清洗溶剂，使溶剂流过阀门的所有部件。过滤流出阀门的溶剂后，用显微镜检查过滤器的表面状况是否符合设计要求。

　　(5)当使用普通不锈钢管道时，如果油渍附着在管道表面，安装后清洗非常困难，应将原管道放入清洗罐中清洗。管道内壁的酸洗工作必须确保去除的腐蚀零件不会损坏未腐蚀的表面。

　　(6)氧气管道的阀门和附件在安装前应严格禁止涂油和按相关要求脱脂。

　　3、实验室高纯气路安装金属管的连接

　　(1)管道材料。用于输送高纯度气体的金属管的主要材料是:

　　1)低碳不锈钢。原则上，低碳不锈钢管用于高流量、高纯度气体。

　　2)铜管。在半导体企业中，对于砷化镓等单个生产工艺的操作，为了防止器件电阻的产生，不允许使用铜管及其附件，只能使用不锈钢材料。

　　(2)连接:

　　1)焊接。原则上，高纯度和高纯度气体管道是焊接的，但不能直接对接焊接。应使用套管接头。

　　不锈钢管道焊接:采用氩弧焊，将相同纯度的氩气引入管道，防止焊接部件氧化。

　　b钢管焊接:40%银电极、氮气保护焊、与工艺气体纯度相同的氮气引入管道。然而，应该注意的是，一旦氮气中断或氮气纯度降低，焊接接头附近将产生氧化铜，这可能导致表面润湿。因此，铜管焊接后，用浸有丙酮的纱布来回擦拭管子内部，以消除焊接处可能产生的氧化物。

　　2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接好，不适合连接高纯度、高清洁度的气体管道。螺纹连接中使用的密封填料残留物有吸入气体的危险，当拧紧内外螺纹时，金属之间的摩擦会产生金属尘粒，污染气体。如果确有必要，当铜及铜、铜及铜合金配件有螺纹时，应在外螺纹上均匀悬挂一定量的焊条，以提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。

　　3)法兰连接。螺纹或法兰接头的密封材料应为聚氯乙烯。为了确保密封效果，垫圈上应涂少量氟橡胶(白色，室温固化)。

　　(3)管道附件的使用:

　　1)管道附件的选材原则应与管道一致。

　　2)不锈钢管件可用于铜制管道系统。然而，在不锈钢管道系统中，不允许使用铜管配件。

　　输气管道工程的建设应以安全为重点，安全比泰山更重要。现在每个人都知道洁净车间高纯度气体管道的安装和施工以及需要注意的地方和要求。

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