实验室气路简介及高纯气路设计要求

　　实验室气路简介及高纯气路设计要求

　　实验室气路：指气瓶至仪器终端之间连接管线，一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成，输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体。

　　气体管路简介：气体管路指气瓶至仪器终端之间连接管线，一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成。输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体，气体工程有限公司可完成各行业实验室气路(气体管路)新建、改建、扩建的交钥匙工程。

　　高纯气体管路的设计要点

　　1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

　　2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。

　　3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

　　4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

　　5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

　　6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

　　7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10-9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器

　　气路系统常用器材：钢瓶(气体压缩机)、钢瓶固定架、钢瓶柜、钢瓶接头、金属软管、半自动切换装置、一级减压器、二级减压器、焊接三通、焊接大小头、卡套阀门、不锈钢管道(BA)、压力表、可燃有毒气体监测报警装置等等。

　　气路工程施工管理要求

　　1、设计是否规范要严查：设计是工程建设的主要依据，定有专业人员对设计是否规范进行严格审查。要最大限度避免由于受设计者能力限制、施工环境特殊性等原因限制，致使现场管道安装变更量较大，造成论证不充分，设计不准确，图纸不完备

　　2、管道安装的施工管理标准要高：如在管道的预制环节应统筹兼顾。如哈氏合金、钦材等这类贵金属材料对管道的安装环境及表面防污染要求高.如直接在现场施工，应重点加强保护措施及环境的管理;对组合设备间的管道，由设备厂家根据设备定位情况在厂内预制，对要求严格的夹套管、管道内部有特殊结构的管道，应先考虑委托有机械加工资质能力的厂家进行预制。同时，要避免管道安装因监管不到位，使施工现场混乱，造成材料受损，不按标准用料等现象发生。

　　3、施工队伍人员资质审查要严格：因转包现象难以绝对避免，有的施工队伍中，没有严格的制约力的组织体系，有部分人员存在着无证上岗现象。同时，即使是专业队伍，也存在着人员流动更替、技术更新等原因，使职工专业技术素质低下的现象突出。特别是管道安装中特种作业的比例较大，必须对施工队伍人员资质严格控制审查。