气体管道系统及气路工程连接验收

　　气体管道系统及气路工程连接验收

　　气体管道气路系统

　　主要由气源切换系统、管道系统、压力调节系统、气点、监控报警系统组成。对于一些易燃易爆品气体，如氢气和乙炔，在设计和施工过程中可能会有细微差异，必须增加安全控制装置，如气体回火防止器。随着我国半导体和制芯工业的发展，高纯气体管的应用越来越广泛。半导体、电子、医药和食品等行业都不同程度地使用高纯度气体管道。因此，高纯度气体管道的建设对我们越来越重要。

　　气体管道材料和连接

　　1.纯度小于99.99%的气体管应采用10#或20#无缝钢管(内表面镀锌或净化)和铜管。镀锌管道带有螺纹。

　　2.对于总杂质含量≤10-100ppm的气体管道，采用304不锈钢光亮退火管(304BA)、304不锈钢管净化处理(304A P)和紫铜管。管道通过焊接连接。可以使用对焊、承插焊或套管焊。

　　3.总杂质含量≤1-10ppm的气体管采用316升不锈钢光亮退火管(316LBA)和304不锈钢电抛光管(304EP)。管道连接采用焊接、内壁无疤对焊和高纯氩弧焊。

　　4.总杂质含量≤1ppm的高纯度气体管道必须使用316升不锈钢电抛光管(3l6厘泊)。管道连接应采用焊接、内壁无疤对焊和高纯氩气保护焊在专用洁净室进行。例如，管道PO2、PH 2、PN2、arr、H e和N2是不锈钢316厘泊管道。CDA采用不锈钢304BA管。

　　气路验收要求

　　1.零件数量符合合同规定吗

　　2.所有连接点是否安全固定。

　　3.管道布局是否合理美观。

　　4.气体页眉粘贴是否正确美观。

　　5.管道连接是否正确。

　　6.整个管道安装完成后，对整个系统进行压力测试。根据《工业金属管道工程施工及验收规范》，管道系统压力保持24小时后不下降合格。