科研实验室高纯气体管路系统设计工艺及检漏

　　科研实验室高纯气体管路的设计要点

　　1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

　　2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。

　　3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

　　4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

　　5.对于对高纯气体纯度要求不同的用气设备，应采用分级高纯气体输送系统。也可以使用相同等级的输送系统，但是在具有高纯度要求的气体设备附近设置终端气体净化装置。

　　6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统应配备必要的连续检测仪器，如测量水分或氧杂质含量的分析仪，还应配备定期取样的检测取样口，以便按规定时间取样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

　　7.在亚微米集成电路的生产中，需要供应10-9级的高纯气体。为了保证最终用途气体处理设备的气体纯度，并将气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定值内，最终用途净化装置或最终用途高精度气体过滤器通常安装在设备的前面。

　　科研实验室高纯气体管路系统工艺流程

　　气路系统主要由气源、切换装置、管道系统、调压装置、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易燃易爆气体，如氢气、乙炔等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入阻火器防止火苗串入。

　　科研实验室高纯气体管路检漏方法

　　1、感官法：即采取耳听鼻嗅的方法。如听到钢瓶有“嘶嘶”的声音或者嗅到有强烈刺激性臭味或异味，即可定为漏气。这种方法很简便，但有局限性，对剧毒性气体和某些易燃气体不适合。

　　2、涂抹法：把肥皂水抹在气瓶检漏处，若有气泡产生，则能判定为漏气。此法使用较普遍、准确，但注意对氧气瓶检漏时则严禁使用，以防肥皂水中的油脂与氧接触发生剧烈的氧化。

　　3、气球膨胀法：用软胶管套在气瓶的出气口上，另一端连接气球。如气球膨胀，则说明有漏气现象。此法最适用于剧毒气体和易燃气体检漏。

　　4.化学法:该方法的原理是在检漏点将一些预先准备好的化学物质与气体接触。如果发生化学反应并且出现一些外观特征，则确定是气体泄漏。如果检查液氨钢瓶，湿石蕊试纸可以用来接近钢瓶的泄漏点。如果试纸从红色变为蓝色，表示有泄漏。这种方法仅用于某些有毒气体的泄漏。

　　5.气体报警装置:气瓶集中存放可减少空间和成本。气体泄漏报警器/可燃气体探头可以安装在实验室的角落。如果气瓶室中的气体泄漏，传感探头会立即将信号传输到中心实验室的液晶显示瓶，并发出报警声，以便随时保持。此外，还可以安装低压报警器，以了解气体是否会耗尽，气瓶压力是否足够，这对实验室实现不间断供气非常重要。