实验室集中供气系统介绍 集中供气管路布局及调试

　　实验室集中供气系统是当下实验室供气主要的方式。很多人不懂集中供气，这里来介绍下集中供气系统的基本概念，原理及一些相关要求。

　　实验室集中供气系统介绍

　　1.基本概念：

　　实验室集中供气就是将所有气瓶集中存放在(瓶房,通过气瓶减压阀将气体输送到各个实验室(即仪器端),

　　2、操作原理：

　　实验室供气有二级减压和多级减压。二级减压即气瓶端采用-级减压阀和末端采用一级减压阀来达到二级减压的目的。实验室一般推荐采用一 级减压，这样可以保证气体的纯度和节约成本，也能达到多级减压的效果(推荐)多级减压即气瓶端采用二级减压阀或多级减压阀和末端采用二级减压阀或多级减压园来达到多级减压的目的。减压效果同级减压效果差不多，但成本会更高。采用中压供，二级减压的供气方式，气瓶气体压力为12.5MPa,经一级减压后为1MPa(管路压力1MPa)，送至用气点，经二级减压后为0.3~0.5MPa(根据仪器需求)送至仪器,供气压力比较稳定。

　　3、技术要求

　　(1)气瓶间:

　　①气瓶间应采用300mm厚实体墙，安装防爆门，设置泄爆窗;

　　②室内电器设备均应具备防爆功能;

　　③应安装排气扇,时刻保持良好的通风状态;

　　(2)供气系统要求采用两级减压的方式进行供气，供气汇流排第一次减压，气体由15MPa减压到1.5MPa以下，再输送到各用气实验室，二级减压器安装在各用气实验室或用气点，方便统一控制通风柜或仪器用气的输人压力,用气终端配有中压球阀和压力指示表，二级减压器对压力进行精确调整(0.01MPa) ,得到稳定的压力,可以满足仪器对不同使用压力的要求，一、二级减压器均配有压力表,可实时显示当前压力;

　　(3)采用双侧汇流排 半自动方式不间断供气，充分满足实验室的使用要求，更换气瓶时,可通过安装在高压软管下面的卡套进行气瓶更换;

　　(4)氢气和乙炔属于易燃气体,应设计气体泄露探测报警装置,并安装阻火器,防止明火回流,易燃与助燃气体敷设应保证足够的安全距离。

　　实验室供气系统气路布置

　　1、高纯气体管道系统布置不同于普通气体管道，一般要求管线不应大长，不应出现不易吹扫干净的“ 盲管 ”等死角。 在干管或支管末端设置必要的吹除 口和取样口。在一些非连续运行的用户， 在管道末端连续不断的小气量放空， 以使管道内气体常流动，不会出现“ 死空间”。根据过程气体质量要求， 必要时还要布置末端净化装置。一 般在进入洁净厂房的高纯气体管道的控 制阀门 、过滤 器 、减压 装置 、压力表 、流量计 、 在线分析仪器等 ， 集中设在气体人口室内，便于统一管理和控制。

　　2、高纯气路配管及管道、附件材料:高纯气体管道输送管道，要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应质量的管材 。 比如半导体产业因其生产工艺复杂 、加工精细 ，它不仅要求有洁净的生产环境 ， 而且对生产过程 中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求，从微米 技术进入亚微米 、深亚微米 (小于0.35um )技术，对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格 ，10-6 (ppm 级 ) 已经不能达到要求，需要达到 10-9 (ppb 级) ，甚至10-12(ppt级 )，尘埃粒径要求控制到 0.05-0.01um。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。

　　3、管道材料特性对输送高纯气体管道而言，其影响气体质量的管道材料主要特性是气体渗透性 、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性 、抗腐蚀性几个方面。

　　实验室供气系统管路调试、测试要求：

　　(1)强度实验:管内冲人高纯氮气使压力到达0.8MPa,保持此压力如10min内压力不降为合格;

　　(2)严密性实验:管内冲人高纯氮气使压力到达0. 5MPa,保持此压力如30min内压力不降为合格;

　　(3)洁净测试:管路中冲人纯氮，关闭所有阀门,打开末端阀用一张白布放在管口一分钟如白布上无杂质和水分即为合格。