电子特气系统工程

　　电子特气

　　燃爆毒腐类的气体统称为电子特气。

　　电子特气系统工程

　　电子特气系统工程是用于保证电子特气的安全使用的系统，

　　电子特气系统组成

　　1、分气源部分(特气柜GC)

　　2、配管部分(一般用双套管)、

　　3、二次配部分(气体分配柜VMB)

　　4、监督控制部分(气体管理系统GMS)几部分。

　　盖斯帕克长期致力于开发研究自主专利的特气柜GC、气体分配柜VMB、气体管理系统GMS，自有经验丰富的、专业的安装工程服务团队。

　　适合场合

　　半导体行业、微电子企业、光伏太阳能、溅射真空镀、沉积刻蚀、钝化清洗等。