高纯气体管道配管技术及常见气体分类

高纯气体管道配管技术及常见气体分类

　　高纯气体管道工程系统应用领域

　　项目涵盖半导体、集成电路、平板显示器、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各种实验室、研究所、标准测试等高科技行业。

　　高纯气体配管技术

　　高纯气体配管技术是高纯气体供气系统的重要组成，是确保高纯气体能够符合要求输送到用气点的关键技术。所谓的高纯气体配管技术包括系统的正确设计、管件和附件的选择、施工和安装、试验和测试等。

　　常见气体种类

　　普通气体电子工业中普通气体的分类:普通气体，也称大宗气体(Bulk gas )：氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6...等等。特殊气体类别通常可分为腐蚀性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。

　　常用半导体气体分类如下:

　　(一)、腐蚀性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等

　　(二)、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等

　　(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等

　　(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等 半导体气体很多是对人体有害。

　　特别是，其中一些气体如SiH4具有自燃特性。一旦发生泄漏，它们就会与空气中的氧气剧烈反应并开始燃烧。AsH3也有毒性。任何轻微的泄漏都可能对人们的生命造成伤害。正是由于这些明显的危险，所以对于系统设计的安全要求特别高。

　　盖斯帕克根据您的要求为您提供高纯气体配件、设计、安装、托管和维护以及定制服务。