单瓶半自动特气柜

　　名称：单瓶特气柜(Gas Cabinet)

　　规格：单工艺气瓶，半自动

　　型号：HSPGC150104

　　特气柜尺寸：W550宽×D500深×H1800高

　　■ 外吹扫：PN2，1/4"MVCR接口

　　■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口

　　■ 气动隔膜阀：CDA驱动，1/4"卡套接口

　　■ VENT排空管：1/2MVCR接口

　　■ 工艺气体出口：2个，1/4"MVCR接口

　　■ 盘面规格：1/4"盘面

　　■ 标准配备：防爆防腐柜体，防爆自锁门，防爆玻璃观察窗，泄漏报警，远程切断，欠压报警，主材SS316L

　　■ 柜体换气量:4"排气口，1200次/小时

　　■ 控制柜尺寸：W550宽×D230深×H320高

　　■ 控制柜电源：220VAC，50HZ，200W，漏电保护

　　■ 操作界面：7"彩色触摸屏

　　■ 选配：工艺气瓶重量监控器，工艺气体超压报警，盘面加热及温控装置，报警信号手机短信与电话通知

　　适用范围：应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。