实验室气路系统管道材料及安装验收

　　实验室气路系统用途

　　气路系统主要应用于处理高纯度气体，或有毒气体和腐蚀性气体的控制设备，是真正的针对实验室的气路系统。 主要应用在:实验室、电子微电子、石化、太阳能、分析仪器、电厂核电、生物制药、质量监督局、学校科研、原子吸收光谱法、废气分析、食品包装、近海行业、医用/工业激光行业等高科技领域。

　　气路系统工程材料

　　1、管道、球阀、卡套和三通等为316L不锈钢;减压器为高纯气体减压器(不锈钢阀芯),高压软管(连接钢瓶和汇流排)为不锈钢波纹管，在高压软管的进气端,配置单向阀，可以防止更换钢瓶时,软管内的气体外泄,同时避免外界的空气混入气路之中。

　　2、管道系统:所有的气体管道选用BA级别的316L不锈钢管,在管路上有个过滤杂质和水分的净化装置，使气体在流通过程中不至于被管道系统污染,保证气体的纯度，同时要有明确标示，指示气体的流向。

　　3、管道的连接:汇流排、终端部分采用卡套连接,便于减压器和阀门的维护管理。

　　4、终端:在每台仪器之前,配置截止阀和二级减压器(每种气体配置一个)。截止阀用于控制每一个气路的开启与关闭;在仪器需要调整和维修时,能停止任何指定的仪器的气体供应，减压器用于显示和调整终端的压力。

　　气路系统管道选择要求

　　1、首选外部光亮内部洁净的不锈钢管，其次是铜管和塑料管。室外部分避免用塑料管。

　　2、室内部分应尽量采用不锈钢管，特殊需要的可用聚四氟管或聚乙烯管。

　　3、为了排除不必要的隐患及管路故障应减少可能的漏气点，建议采用超长型的不锈钢软管，这种管路容易盘曲改向，有时为了施工的方便和设计的需要可在管路中设置一些二通、三通等接头。

　　高纯气路系统管道布置

　　1、高纯气体管道系统布置不同于普通气体管道，一般要求管线不应大长，不应出现不易吹扫干净的“ 盲管 ”等死角。 在干管或支管末端设置必要的吹除 口和取样口。在一些非连续运行的用户， 在管道末端连续不断的小气量放空， 以使管道内气体常流动，不会出现“ 死空间”。根据过程气体质量要求， 必要时还要布置末端净化装置。一 般在进入洁净厂房的高纯气体管道的控 制阀门 、过滤 器 、减压 装置 、压力表 、流量计 、 在线分析仪器等 ， 集中设在气体人口室内，便于统一管理和控制。

　　2、高纯气路配管及管道、附件材料:高纯气体管道输送管道，要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应质量的管材 。 比如半导体产业因其生产工艺复杂 、加工精细 ，它不仅要求有洁净的生产环境 ， 而且对生产过程 中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求，从微米 技术进入亚微米 、深亚微米 (小于0.35um )技术，对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格 ，10-6 (ppm 级 ) 已经不能达到要求，需要达到 10-9 (ppb 级) ，甚至10-12(ppt级 )，尘埃粒径要求控制到 0.05-0.01um。因此输送管道本身的管道材料特性适应高纯、超高纯气体的要求成为必须。

　　3、管道材料特性对输送高纯气体管道而言，其影响气体质量的管道材料主要特性是气体渗透性 、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性 、抗腐蚀性几个方面。

　　气路系统管道安装验收标准

　　外观检查

　　1.管道走线要横平竖直;管道均固定牢固

　　2.管道外表面无明显破损。

　　3.各个阀件无明显破损。

　　系统耐压试验

　　如果管道冲入压力后发生形变(如鼓泡、扭曲、膨胀等现象)即说明此系统无法在此压力下工作，如果长时间在此工作压力下，系统会在形变位置爆裂，造成人员财产伤害。