生物气体管道工程系统组成及气路布局

　　生物气体管道工程系统有哪些部分组成?生物气路工程管道布局要注意哪些方面的问题。

　　生物气体管道工程系统组成

　　主要由气源开关系统、管道系统、调压系统、用气点、监控报警系统组成 对于一些易燃易爆物品气体，如氢气和乙炔，在设计和施工过程中可能会有细微差异，必须增加安全控制装置，如气体防回火装置 随着我国半导体和制芯工业的发展，高纯气体管的应用越来越广泛。半导体、电子、医药和食品等行业都不同程度地使用高纯度气体管道。因此，高纯度气体管道的建设对我们越来越重要。

　　分类:气源末端，一般指用户气体房间，其中全部钢瓶、杜瓦瓶、容器等。气体被放置。它们是高压装置，在进入管道系统之前需要配备减压装置。 其他功能可根据现场要求增加，如压力报警、自动切换、精密再过滤等。

　　气源终端，是指输送到设备的过程气体的控制部分，通常是一个截止阀。VMP等。将根据客户和实际要求配置，具有二次调压功能。

　　生物气路工程管道布局

　　1、高纯度气体管道系统布局不同于普通气体管道，一般要求管道长度不要太大，并且不应有不容易吹干净的死角，如“盲管”。 主管或支管的末端设有必要的排污口和取样口 对于一些不连续运行的用户，少量气体在管道末端连续排放，使管道中的气体正常流动，没有“死区” 根据工艺气体的质量要求，必要时应设置终端净化装置。 一般来说，控制阀、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪器等。进入洁净车间的高纯气体管道位于气体人口室的中央，便于统一管理和控制。

　　2、高纯气路管道及附属材料:高纯气体管道及输送管道，根据工艺对气体纯度、允许杂质含量、颗粒含量等的不同要求，采用相应质量的管道。 例如，半导体工业不仅需要清洁的生产环境，而且由于其复杂的生产工艺和精细加工，还需要对生产过程中所需的各种高纯度气体有具体和严格的要求。从微米技术到亚微米和深亚微米(小于0.35um)技术，在气体中对杂质含量和水含量的要求非常严格。10-6 (ppm级)不再能满足要求。它需要达到10-9 (ppb级)甚至10-12(ppt级)。粉尘粒度需要控制在0.05-0.01 μm 因此，输送管道本身的管道材料特性必须满足高纯度和超高纯度的要求气体

　　3。影响气体输送高纯度气体管道质量的管道材料的主要特征是气体渗透性、除气率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蚀性