洁净室内气体管道工程气路设计规划及安装要点

　　洁净室内气体管道工程气路设计规划需要主要哪些方面，洁净室内气体管道工程的安装要求有哪些？

　　洁净室内气体管道设计规划

　　(1)为了方便更换气瓶，从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的金属软管。(2)在整个系统中，为了防止回火现象的发生,应加装防爆逆止阀。

　　(3)气体进人使用点前，为了便于控制气体开关，应设有使用点球阀。

　　(4)为了保持气体的纯度及管道系统的气密性，所有管道采用316L不锈钢管道,内表面经AP处理。

　　(5)为了便于维修及更换阀件，管道与阀件的连接应采用高压双卡套接头连接。

　　(6)管道固定件(管夹)应采用耐高温的金属材料，要求坚固，轻巧，耐用。

　　(7)考虑到坚固、防腐方便使用、美观等方面的原因,压力调节阀控制面板采用不锈钢材料。

　　(8)为确保气体输出的压力稳定和气体的纯度选用两次减压系统(即采用一次减压系统和二次减压系统,二次减压设备自带)。

　　洁净室内气体管道工程的安装要求

　　1、管道敷设应符合设计要求，设计无要求时，输送干燥气体的管道宜水平安装;输送潮湿气体的管道应安装成有不小于0.003的坡度，坡度应坡向冷凝水收集器;

　　2、管道的连接采用焊接，并采用钨极氩弧焊打底，手工电弧焊盖面工艺。不锈钢管焊接或点固焊均应采取管内充氩保护措施;

　　3、气体管道与设备、阀门及其他附件应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须采用聚四氟乙烯薄膜;

　　4、通过洁净室的气体管道，其法兰垫片或螺纹填料的外露部分，必须清理干净;

　　5、气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化的无缝钢管时必须采用集中安装方式，并在48h内分段组合安装，充入压力不小于0.2MPa的氮气保护;

　　6、有接地要求的气体管道，法兰间必须焊有导电跨线，其导线截面及焊接搭接长度应符合设计要求，焊点必须牢固、可靠。