科研实验室高纯气体管道的设计要点

　　科研实验室高纯气体管道的设计要点

　　1.对于不同特性的气体，应规划单独的供应区域，一般分为三个区域:腐蚀性/毒性气体区域、易燃气体区域和惰性气体区域。应集中管理具有相同特征的气体。易燃气体区域应特别规划防爆墙和泄漏口。如果空间不足，可以考虑惰性气体和有毒/腐蚀性气体区域。

　　2.管道设计需要考虑输送距离。距离越长，成本越高，风险也越高。一般来说，更合理的设计流量是20毫升/秒，可燃气体小于10毫升/秒，有毒/腐蚀性气体小于8毫升/秒，在剂量设计方面，需要考虑使用点的压力和管道直径。前者与气体特性有关，而后者通常为1/4英寸至3/8英寸。

　　3.根据气体设备的分布情况，高纯气体的管网不应过大或过长;建议采用未密封的环形管道，并在系统末端连续排放少量气体，这样高纯度气体将始终在管网中循环，不会出现“死区”造成的高纯度气体污染。

　　4.管道中不流动气体的“死区”应该减小。不应提供盲管。特种气体气瓶与气体设备之间应设置吹扫控制装置、多阀控制装置、各阀切换顺序和系统吹扫，以确保供气系统安全可靠运行，防止形成“死区”滞留污染物，降低气体纯度。

　　5.对于对科研实验室高纯气体纯度要求不同的用气设备，应采用分级高纯气体输送系统。也可以使用相同等级的输送系统，但是在具有高纯度要求的气体设备附近设置终端气体净化装置。

　　6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统应配备必要的连续检测仪器，如测量水分或氧杂质含量的分析仪，还应配备定期取样的检测取样口，以便按规定时间取样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

　　7.在亚微米集成电路的生产中，需要供应10-9级的高纯气体。为了保证最终用途气体处理设备的气体纯度，并将气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定值内，最终用途净化装置或最终用途高精度气体过滤器通常安装在设备的前面。